正确控制真空室内的温度 如果你正在建造一座现代化的半导体制造工厂，那你一定知道，热能管理是个棘手的问题。一旦将空气从真空室中抽出，对流作用就会消失，此时就只能依靠辐射来传递热量了。 这时，红外线加热系统就派上用场了。它们不会与真空环境对抗，而是直接将能量传递到目标区域，无需任何中间介质。 不必再凭...

别再浪费时间了：为何真空红外加热才是最佳选择 如果你有过半导体加工的经验，就会知道其中的麻烦——必须等待材料升温或降温。长期以来，我们一直依赖强制空气对流来加热材料，但使用与真空环境相容的红外加热器则彻底改变了这一流程。 其实，关键在于热量是如何传递到晶圆上的。空气对流就像用风扇给房间加热一样——...