グローブボックス内の赤外線ランプのことで悩むのはやめましょう。
高負荷の半導体製造を行っている人なら、その恐ろしい状況をご存知でしょう。グローブボックス内で赤外線ランプが壊れてしまうと、ガラスの破片やハロゲンガスがウェーハに降り注ぎます。
これは大変な混乱を引き起こし、費用もかさみます。そして、一括して製造されているウェーハ全てが台無しになってしまいます。
私たちは、このような事態を何度も目の当たりにしてきました。そこで、そういうことが起こらないように、特別な赤外線ランプを開発しました。
混乱を内部に閉じ込める
私たちが採用しているのは二重構造です。加熱素子は高純度の石英製のケースの中に収められています。これはまるでセーフティネットのようなものです。もし内側のフィラメントが壊れたり、管が熱衝撃で割れたりしても、外側のケースがすべてを受け止めてくれます。そうすれば、作業場にガラスの破片が飛び散ることはありません。また、急速に温度を上げる際に問題が起こりやすい端部も強化しました。
熱対策
高負荷の状態では、熱密度が大きな敵となります。もし「ホットスポット」ができると、ランプはあっという間に壊れてしまいます。
これを解決するために、ワット数や電圧を調整し、正確なハロゲンサイクルを利用しました。これにより、タングステンフィラメントが均等に分布され、ランプの寿命が大幅に延びます。
ただし、常に100％の能力で動かし続けると、石英に大きな負担がかかります。必ず、グローブボックス内の空気流が効果的に機能しているか確認してください。もし空気がコネクタから熱を取り除けなければ、配線が破損してしまいます。そして、製造途中で電気的な短絡が起こるのは避けたいものです。
交換の手順
私たちは、コネクタを業界標準のものを使用しました。なぜかというと、ランプを交換するだけで、全体の配線を再配線する必要がないからです。これらは簡単に交換できるのです。
また、接続部をしっかりと固定しました。これは些細なことのように思えますが、工業現場では振動が石英にとって大きな問題となります。しっかりと固定されていれば、割れる頻度が減り、稼働時間が長くなります。そして何よりも、ウェーハがきれいに保たれます。